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產品簡介
手動探針臺是一款專門針對半導體芯片研發、測試而設計的產品。手動探針臺這款探針冷熱臺擁有高精度的探針位移平臺，具有良好的真空性能和精準的溫控系統。
產品參數：
1.溫度范圍： -196℃~400℃
2.加熱區： φ27mm
3.探針行程： 13mm
4.探針位移精度 1μm
5.探針針尖直徑（默認） 100μm
6.物鏡工作距離： 15mm
7.通光孔直徑： 2mm
8.最大升溫速率： 0~60℃/min
9.觀察窗： φ40mm
10.溫控精度： 0.1℃
11.極限真空： 1pa（機械泵）,5x10^(-3)pa(分子泵)
12.支持反射/透射模式
13.支持改動和定制
14.上位機軟件控制
| 型號 | MHS300V-4P | MHS400V-4P | |
| 溫控模塊 | 加熱/制冷方式 | 電阻加熱，液氮制冷 | |
| 溫控范圍 | -196~300°C* | -196~400°C* | |
| 溫度穩定性 | ±0.1°C | ||
| 溫度分辨率 | 0.1°C | ||
| 最大升溫速率 | 0~60°C/min (可定點/程序段控溫) | ||
| 溫控方式 | PID | ||
| 溫度傳感器 | PT100 | ||
| 光學特性 | 光路 | 反射/透射光路（可選） | |
| 視窗材質 | 石英玻璃* | ||
| 視窗尺寸 | φ40mm* | ||
| 視窗厚度 | 0.5mm* | ||
| 物鏡工作距離 | 15mm* | ||
| 透光孔 | φ2mm* | ||
| 電學特性 | 探針 | 移動探針模組x4 *,手動調整XYZ | |
| 探針行程 | 13mm | ||
| 探針位移精度 | 1μm | ||
| 探針接口 | SMA 接口x4* | ||
| 探針直徑 | 10 / 50 / 100 μm* | ||
| 樣品臺面電位 | 接地（默認接地）/電懸空/三同軸*（可選） | ||
| 結構特性 | 樣品臺尺寸 | φ27mm* | |
| 樣品臺材質 | 銅質* | 純銀* | |
| 外形尺寸 | 460x290x82mm* | ||
| 樣品腔高度 | 12mm* | ||
| 腔室 | 真空 | ||
| 基本配置 | 冷熱臺x1、溫控系統x1、低溫系統x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件 | ||
| 選配 | 電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統/其他定制 | ||
| 備注 | 以上為默認參數 * 為可定制項 | ||
| 其他可選型號 | 按需求進行配置 | ||
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