HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P是一款專門針對半導體芯片研發、測試而設計的產品。這款探針冷熱臺熱臺擁有高精度的探針位移平臺，良好的氣密性能和精準的溫控系統。

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更新時間：2025-09-08

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HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探針冷熱臺是一款專門針對半導體芯片研發、測試而設計的產品。這款探針冷熱臺熱臺擁有高精度的探針位移平臺，良好的氣密性能和精準的溫控系統。

溫度范圍： -196℃~600℃

加熱區： φ27mm

探針行程： 13mm

探針位移精度 1μm

探針針尖直徑（默認） 100μm

物鏡工作距離： 15mm

通光孔直徑： 2mm

最大升溫速率： 0~150℃/min

觀察窗： φ40mm

溫控精度： 0.1℃

支持反射/透射模式

支持改動和定制

上位機軟件控制

型號		MHS300G-4P	MHS600G-4P
溫控模塊	制冷/加熱方式	液氮制冷,電阻加熱
	溫控范圍	-196~300°C*	-196~600°C*
	溫度穩定性	±0.1°C
	溫度分辨率	0.1°C
	最大升溫速率	0~150°C/min (可定點/程序段控溫)
	溫控方式	PID
	溫度傳感器	PT100
光學特性	光路	反射/透射光路（可選）
	視窗材質	石英玻璃*
	視窗尺寸	φ40mm*
	視窗厚度	0.5mm*
	物鏡工作距離	15mm*
	透光孔	φ2mm*
電學特性	探針	移動探針模組x4 *,手動調整XYZ
	探針行程	13mm
	探針位移精度	1μm
	探針接口	SMA 接口x4*
	探針直徑	10 / 50 / 100 μm*
	樣品臺面電位	接地（默認接地）/電懸空/三同軸*（可選）
結構特性	樣品臺尺寸	φ27mm*
	樣品臺材質	銅質*	純銀*
	外形尺寸	460x290x82mm*
	樣品腔高度	12mm*
	腔室	氣密
基本配置	冷熱臺x1、溫控系統x1、低溫系統x1、液氮罐2Lx1、循環水系統x1、溫控軟件
選配	電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統/其他定制
備注	以上為默認參數 * 為可定制項
其他可選型號	按需求進行配置